Метод нанесення пасивації впливає на УФ-деградацію TOPCon-комірок
ISC Konstanz зафіксував кращу стабільність шарів AlOx, нанесених атомно-шаровим методом, порівняно з PECVD, але виявив і значний вплив виробничої неоднорідності.
Коротко
Дослідники порівняли пасиваційні шари оксиду алюмінію, нанесені методами ALD і PECVD. ALD-підходи показали кращу стійкість до ультрафіолетової деградації, а збільшення товщини AlOx додатково зменшувало втрати. Тонкий термічно вирощений прошарок SiOx під AlOx посилив хімічну пасивацію та обмежив утворення дефектів на інтерфейсі під дією УФ-випромінювання.
Комерційні TOPCon-комірки п’яти виробників у середньому втратили 2–3% відносної ефективності після дози 60 кВт·год/м². Окремий зразок деградував майже на 6%, що вказує на ризик локальної неоднорідності виробничого процесу.
Ключові висновки
- Однакова технологічна назва TOPCon не гарантує однакової УФ-стабільності: метод і рівномірність пасивації можуть впливати на довгостроковий виробіток не менше, ніж паспортна початкова ефективність.
